【BOB博鱼·(Boyu)】争夺光刻技术：尼康向ASML发起诉讼

发布时间：2024-11-17 丨 浏览次数：

近日，尼康发动了一系列针对竞争对手ASML公司光刻系统及其关键光学元件供应商蔡司公司的专利侵权行为诉讼。在荷兰，尼康日本公司早已递交了十一项针对ASML的诉讼，并声称将在东京的法庭采行更进一步的行动。

控告对象还包括了在德国曼海姆的蔡司公司，该公司是经营卡尔蔡司半导体生产技术（SMT）的子公司。ASML公司立刻做出对此，称之为将对“不必要的”诉讼展开自辩。

在文学创作改稿的时候，蔡司仍未收到月对此。ASML将在数周内对卡尔蔡司半导体生产技术公司已完成十亿欧元的股权投资，作为研发下一代光刻光学的一部分。探讨浸泡式光刻技术尼康的诉讼集中于在沉浸式光刻技术，是一种光学“技巧”。

该技术用作增大半导体器件中形貌的大小，已被普遍用于了数年。十多年前，涉及公司签订了一项关于技术的交叉许可协议，该协议规定了一段相同的时间内，还包括一些专利永久的许可和其他条款。ASML回应，在过渡性期间双方已表示同意不发动任何诉讼，2014年末该协议届满。

荷兰公司首席执行官PeterWennink声称自那时以来，尼康还没月启动谈判先前协议的尝试。“尼康的诉讼是毫无根据的，不必要的，并减少了半导体行业的不确定性，”他说道。“在过去的几年中，ASML早已多次企图通过谈判与尼康辩论交叉许可协议的拓展。

令其我们沮丧的是，尼康没做出任何严肃的希望进行谈判，却自由选择了采行法律行动。“我们指出，谈判结果将不会对整个行业不利，并增进创意和协作。这种不必要的专利诉讼使我们集中了对确实最重要的东西的注目：为了芯片厂商的利益推展技术向前发展。我们应当在市场上竞争，而不是在法庭上。

”这种众说纷纭与尼康的众说纷纭相符，日本企业在其公布的声明中称之为：“尼康早已和ASML和蔡司为达成协议一个解决问题这些问题的方案展开了会面。但是这些希望，即使在一位经验丰富的调解员的引领下，也没能产生解决方案。ASML和蔡司之后予以许可用于尼康的专利技术使得尼康别无选择，只有通过法律手段来解决问题。

”公司总裁KazuoUshida说道：“我们深信，ASML予以许可用于尼康的专利是我们最先进设备的技术，还包括水龙头式光刻技术，这使ASML不断扩大了其光刻的业务。对知识产权的认同是公平和身体健康竞争的基础，对增进创意并为社会获取最先进设备的产品和服务来说也是适当的。这就是为什么我们要求开始这场诉讼。

”能否达成协议早在2001年，尼康就在美国驳回了早期诉讼，根据日本公司回应赞同的条款，最后在2004达成协议妥协。然而，妥协协议还包括所谓的“非断言”期间，尼康现在正在谋求赔偿金。“ASML和蔡司都不不愿拒绝接受的条款体现了尼康的专利技术的价值。

”（尼康）公司说。虽然近年来的注目焦点是在极紫外线（EUV）光刻系统的发展，基于浸泡式氟化氩准分子激光器的Q电机的销售（ARF）仍是ASML目前收益的基础。根据荷兰公司自己的数据，2016年ASML四分之三的销售额来自氟化氩水龙头式工具，约相等35亿欧元。

就在上周，ASML报导称之为氟化氩水龙头式系统占到其目前37%的存货–相等约17亿欧元的销售额。实质上，水龙头光刻技术的原理可以追溯到卡尔·蔡司在第十九世纪获得的，本用作提升显微镜分辨率的成果。近来，该成果通过衍变已被用在光刻光学中，可将数值孔径提升到标称（散射）无限大以上。

它配有的工作在193nm的氟化氩暴光源的光刻工具和波长更加较短的157纳米氟激光器一样有效率;而157nm激光的方案早已持续探寻了很多年，但最后被出局了。（4月25日改版）蔡司此后做出对此，称之为坚称任何侵权行为指控。公司声明：作为半导体产业的技术驱动者，蔡司依赖创意和合作以及拒绝接受知识产权作为其工作的基础。

CarlZeissSMT公司和其战略合作伙伴ASML容纳成千上万的在许多有所不同的国家的专利。蔡司指出专利诉讼对整个半导体行业是危害的，因为它使制造商不遵守自己的责任，有利于推展光刻技术的发展，同时伤害芯片制造商的利益。“因此，蔡司向尼康明确提出沿袭2014年底届满的交叉许可协议，该协议许可专利的互相用于。令其蔡司深感沮丧的是，尼康没做出任何严肃的谈判，却自由选择了采行法律行动。

本文来源：BOB博鱼-www.axchanong.com